Cette transition, réversible, s'accompagne d'un changement de structure du matériau qui passe d'un système cristallin monoclinique (semi-conducteur) vers un système tétragonal (métallique).
Elle est spécialisée dans la fabrication de réacteurs permettant de déposer des couches de semi-conducteur par épitaxie en phase gazeuse à partir d'organométalliques.