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Example

Media pump AR made of highly-corrosive stainless steel IR made of silicon nitride Silicone nitride balls

E&K Wälzlager GmbH | Max-Planck-Str. 6 | D-52499 Baesweiler Fon +49 (0) 24 01- 60 79 - 0 | Fax +49 (0) 24 01- 60 79 - 20

www.eukw.de

Beispiel

Medienpumpe AR ausHochkorrosivem Edelstahl IR aus Siliziumnitrid Kugeln aus Siliziumnitrid

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The use of different detection principles : the movement and position of the measuring tip is measured by an external optical procedure or via an intrinsic electrical measuring principle

The use of different measuring tip materials : in recent developments , special diamond tips are used in addition to silicon and silicon nitride tips

Figure 1:

www.ptb.de

Dabei wird die Bewegung und Position der Messspitze entweder mit einem externen optischen Verfahren oder über ein intrinsisches elektrisches Messprinzip gemessen.

Einsatz unterschiedlicher Materialien der Messspitzen: neben Silizium- und Silizium-Nitrid-Spitzen werden in aktuellen Entwicklungen auch spezielle Diamantspitzen angewendet.

Bild 1:

www.ptb.de

Silicon nitride films | Institute of Interfacial Process Engineering and Plasma Technology | University of Stuttgart

Website der Universität Stuttgart

www.igvp.uni-stuttgart.de

Änderungen | Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie | Universität Stuttgart

Website der Universität Stuttgart

www.igvp.uni-stuttgart.de

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