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Übersetzungen für „durchkontaktieren“ im Deutsch » Englisch-Wörterbuch
(Springe zu Englisch » Deutsch)Beispiele aus dem Internet (nicht von der PONS Redaktion geprüft)
Nachfolgend werden alle Komponenten durch auflöten eines Siliziumkappenwafers, der ebenfalls über entsprechende Rahmenstrukturen verfügt, hermetisch dicht verkapselt.
Basierend auf der Nutzung von durchkontaktieren Siliziumwafern als Trägerkomponenten können verschiedenste Typen von MEMS-Verkapselungen hergestellt werden.Das Fraunhofer IZM hat Prozesse zur Herstellung von vertikal durchkontaktierten Siliziumzwischenträgern auf 200mm und 300mm Wafern entwickelt.
Die verwendeten Technologien beinhalten Siliziumtrockenätzverfahren zur Generierung von Sacklöchern in den Siliziumwafern sowie deren Isloation mittels PECVD und deren Füllung durch galvanische Kupferabscheidung.
www.izm.fraunhofer.deBased on the silicon interposer approach various types of MEMS housings can be manufactured.
Fraunhofer IZM has developed processes for manufacturing of silicon interposers at 200 mm and 300 mm wafers.
The required technologies include DRIE etching of blind holes into the silicon, isolation of the holes and metal filling using electroplated copper, high density multi layer redistribution, temporary wafer bonding, wafer thinning, thin wafer backside processing.
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