Interferometer set-up for flatness measurement
The calibration of the interferometer and also special calibrations with lowest measurement uncertainty are performed with the high-accuracy ESAD measuring facility developed at PTB.
This facility allows uncertainties in the subnanometer range to be achieved and test specimens up to an extension of 500 mm to be measured.
www.ptb.deInterferometeraufbau zur Ebenheitsmessung
Die Kalibrierung des Interferometers und auch Sonderkalibrierungen mit der kleinstmöglichen Messunsicherheit erfolgen mit der in der PTB entwickelten hochgenauen ESAD - Messanlage.
Diese erreicht Unsicherheiten im Subnanometer - Bereich und kann Prüflinge bis 500 mm Ausdehnung messen.
www.ptb.deDie ESAD-Messanlage
Fig.2 shows exemplarily measurements performed with the ESAD facility on a very flat specimen which serves as a transfer standard for the flatness.
Here, standard measurement uncertainties of better than 0.5 mm are achieved for the topography values at a scan length of 130 mm.
www.ptb.deDie ESAD-Messanlage
Die Abb. 2 zeigt exemplarisch Messungen der ESAD-Anlage an einem sehr ebenen Prüfling, der als Transfer-Standard für die Ebenheit dient.
Es werden hier Standard-Messunsicherheiten für die Topographiewerte von besser als 0,5 nm bei einer Scanlänge von 130 mm erreicht.
www.ptb.deShears si - gemessen ( siehe Abb. 2 ).
Dieses Verfahren wird auch als Extended Shear Angle Difference ( ESAD ) -Verfahren bezeichnet.
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